CDU智能液桶
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一、產(chǎn)品用途
光學玻璃、陶瓷、電子材料及硅片、鍺片、計算機磁盤基片等金屬、非金屬等硬脆材料的雙面高精度拋光加工,尤其適用于5〃(φ125mm)以下硅片及同尺寸規(guī)格異形平行平面材料的雙面精密拋光加工。
二、主要特點
1.壓力精密控制:PLC+PT +低摩擦氣缸實現(xiàn)精密壓力控制;
2.上盤減震裝置:動靜態(tài)均適用的減振彈性連接方式;
3.精密傳動系統(tǒng):高精度全齒輪傳動,高精度軸承支撐;
4.下盤支撐:高精度結(jié)構(gòu)軸承支撐,提高設備的精度和運行平穩(wěn)性;
5.免維護:關鍵器件采用國產(chǎn)品牌,冗余設計安全系數(shù)大;
6.強制散熱系統(tǒng):采用軸流風機排熱方式,并預留抽風接口,用戶可自行連接
7.操作便捷:低臺面、半裸式接液盆便于清洗;下盤具有氣動升降功能,滿足了取放工件及調(diào)整游輪嚙合位置的要求
三、技術(shù)參數(shù)
序號 | 項目 | 規(guī)格參數(shù) | |
1 | 下拋盤 | 尺寸 | φ1155mm×φ348mm×50mm |
轉(zhuǎn)速 | 3-60rpm | ||
2 | 上拋盤 | 尺寸 | φ1155mm×φ348mm×50mm |
3 | 上下盤驅(qū)動電機 | 15kW AC380V 50Hz 1460rpm(變頻控制) | |
4 | 太陽輪驅(qū)動電機 | 2.2kW AC380V 50Hz 1420rpm(變頻控制) | |
5 | 游星輪 | 參數(shù) | 英制:DP12 Z=200 α=20° |
數(shù)量 | 5個 | ||
6 | 供液裝置 | 攪拌電機 | 120W,AC380V |
供液泵 | 1/4HP 容積約40L(雙層) | ||
7 | 精度指標 | 下拋盤端面跳動 | ≤0.05mm |
上、下拋盤平面度 | ≤0.02mm | ||
8 | 水源 | 純水或自來水 | |
9 | 電源 | 18.5kW AC380V 50Hz(總功率) | |
10 | 線纜規(guī)格 | 三相五線制.3×6mm2+2×4mm2 | |
11 | 氣源 | 壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa,接口φ10mm(外徑) | |
12 | 外形尺寸 | 寬x長x高:1550mm×2000mm×2740mm | |
13 | 重量 | 約5500Kg |
產(chǎn)品推薦
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